电子级氟化氢（5.5N）-大晟芯材料科技(山东)有限公司

首页 >产品中心

电子级氟化氢（5.5N）

分子式: HF

产品介绍:

电子级氟化氢主要用于干法蚀刻工艺中的硅及多晶硅蚀刻，作为主要的蚀刻介质；用于化学气相沉积（CVD）中的氮化硅薄膜沉积，作为重要的氟源前驱体；以及用于腔室清洗工艺，清除CVD反应室内的硅化物沉积物。

产品详情

包装形式：

产品指标：

上一个产品返回列表下一个产品